可以。环氧胶用于硅片的临时固定和封装。
粘接性能:
- 剪切强度:10-20 MPa
- 取决于表面处理
表面准备:
1. 精密清洁(RCA清洗)
2. 干燥处理
3. 必要时等离子处理
专用要求:
- 低离子含量
- 低应力
- 耐高温(回流焊)
- 易解胶(临时固定)
典型应用:
- 芯片贴装
- 晶圆切割固定
- 传感器封装
- MEMS器件
注意:
- 硅CTE低(2.6ppm/℃),注意匹配
- 高纯要求,避免污染
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